“常院士，这是……？”栾文杰环顾四周，有些不解。 相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试，这里的设备显得过于“普通”了。 “一项纯光学的……原理性验证实验。”常浩南言简意赅，目光落在栗亚波身上，“我们准备了快半年，最近才真正具备了测试条件。” “纯光学？验证什么？”栾文杰心中的疑惑更甚。 “很快您就知道了。”常浩南依旧卖了个关子，示意栾文杰耐心观看，目光也投向了栗亚波的操作。 只见栗亚波最后确认了一下所有光学元件的共轴性，然后极其小心地将一块巴掌大小、表面布满极其细微黑白条纹的金属板插入一个特制的靶标架中，并微调了一下位置和角度。 接着走到控制电脑前，手指在键盘上快速敲击了几下。 嗡…… 一声轻微的启动声，位于平台一端的光源被点亮。 霎时，一束鲜艳夺目的红色激光束激射而出，经过扩束准直后变成一道直径大约几个毫米的平行红光，射入中间黑色的遮光罩内。 而当光线从另一端射出时，已经略带上了一丝难以察觉的模糊感。 最终，这束光线投射在数米开外的精密成像屏上，形成一个边界柔和的光斑。 “红光？”栾文杰有些惊愕地低呼出声，“还是可见光？” 在他的认知里，要突破极限，理应使用波长更短的紫外光甚至极紫外光才对。 常浩南似乎早料到他有此一问，平静地解释道： “我们要测试的，是一个理论上‘不可能’被传统透镜实现的结果……如果使用波长太短的光，那么……对测试系统本身的精度和噪声要求会很高，甚至大概率无法测出有效结果。” 他这边话音刚落，一直紧盯电脑屏幕的栗亚波已经抬起头： “找到了。” 从他的脸上看不出太多情绪，但声音有些发颤： “成像清晰！我找到靶标的成像结果了！” “快！” 常浩南立刻上前几步，接替栗亚波坐到了显示器前面。 栾文杰也按捺不住好奇，迅速凑到旁边。 屏幕上显示的并非什么复杂的电路，而是一系列明暗相间、等宽等距的竖条纹图案。 条纹边缘锐利，对比度极高。 他快速搜索了一下脑海中的知识，并没有想起来符合当前场景的答案。 但看着面前师生二人的这副架势，已经能冥冥中感觉到，眼前这东西恐怕不太寻常。 好在，常浩南并没有让对方的疑惑持续太久。 “这是分辨率测试靶标的一部分。”他指着屏幕上的竖条纹解释道，“根据光学成像的瑞利判据，使用波长λ=632.8nm的可见红光时，一个传统透镜的理论分辨率极限δ大约是0.61λ/NA……换算到我们这个系统里，大概是在316nm左右。” 他指着屏幕上最清晰的那组条纹旁边标注的一组编号： “您看这里，第10组第5元素，它对应的线对宽度是308nm……也就是说，对于一块正常意义上的透镜而言，在632.8nm波长下，不应该看清楚靶标上第10组第5元素以下的图案。” 常浩南说到这里，刻意停顿了一下： “但是……” 他没有继续说下去，而是移动鼠标，在屏幕上快速搜索着。 很快，光标停留在屏幕靠左侧的一个区域。那里清晰地呈现出一个由三条竖直亮线组成的图案，亮线之间是等宽的黑线。 这个图案在屏幕上的标注正是“Group10，Element5”！ “嗯？” 栾文杰失声惊呼，身体不由自主地前倾，几乎要贴到屏幕上。 瑞利判据是物理学基础，他刚才已经听明白了这个测试的意思。 308nm，已经超过，至少是贴近了632.8nm波长所对应的分辨率极限 然而，眼前的三条亮线是如此清晰锐利，边缘平滑，没有一丝一毫的模糊或弥散感。 根本不像是在逼近理论极限，反而像是在分辨一个远大于极限的物体！ 常浩南脸上依旧保持着那种掌控一切的平静，没有立刻解答栾文杰的震惊。 他只是再次移动鼠标控制着屏幕上的成像区域向下移动。 画面切换，来到了标注为“Group10，Element6”的区域。 这里的线条图案更加细密。 然而，图形中的三条亮线依旧清晰可辨。 其锐利程度与9-5相比，几乎没有肉眼可见的衰减！ “10组6元素，对应分辨率274nm！” 旁边的栗亚波适时报出数据。 栾文杰的双眼已经瞪得溜圆，彻底被眼前的景象所震撼。 274nm！ 刚才的结果或许还能用误差解释。 但这此，已经明确无误地突破了632.8nm红光下理论衍射极限。 这完全颠覆了光学常识！ 常浩南依旧沉默着，手指稳健地操控鼠标。屏幕上的画面继续向下移动：这章没有结束，请点击下一页继续阅读！ Group11，Element1(对应分辨率约244nm)–清晰！ Group11，Element2(约218nm)–清晰！ Group11，Element3(约194nm)–清晰！ …… 栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加速，呼吸也变得急促起来。 每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！ 画面再次切换： Group11，Element4–三条亮线依然顽强地保持着可分辨的状态。 虽然对比度相比前面几组有所下降，亮线似乎也略微变细，但它们依旧清晰地并列着，中间的黑缝明确存在！ 这已经将衍射极限甩开了相当一段距离！ 栾文杰感觉自己的情绪似乎被调动了起来，他死死盯着屏幕拳头不自觉地握紧。 常浩南再次点击。 画面切换到了Group11，Element5。 这一次，屏幕上的景象终于发生了变化。 那三条本应清晰独立的亮线，此刻却如同被水浸润的墨迹，边缘模糊，相互粘连、融合在一起，形成了一片边界不清的、亮度略高的弥散光斑，再也无法分辨出任何独立的线条结构！ “看不清了！”几乎是同一时间栾文杰和栗亚波两人异口同声地喊了出来！ 脱口而出之后，前者才意识到自己好像有点失态。 但好在这里也没外人，所以他很快又重新盯上了眼前的屏幕。 “这个图案是11组5元素（Group11，Element5）！” 他准确地喊出了刚刚变得模糊的那个靶标元素的编号，声音因为激动而有些变调。 常浩南点点头，目光锁定在屏幕上最后那个清晰的图案上：“没错，所以最后一个能清晰分辨的，就是11组4元素。”他随即转向栗亚波，“亚波，靶板说明书。” 栗亚波立即把说明手册翻开，铺在键盘前面。 这本手册详细记录了USAF1951分辨率靶标上每一组、每一个元素对应的精确线宽和分辨率数值。 由于11组的元素极其细微，极少在常规测试中使用，其具体数值连常浩南也无法立刻记清。 实验室里瞬间安静下来，只剩下几人略显粗重的呼吸声。 所有人的目光都聚焦在常浩南沿着表格不断移动的指尖上。 沿着目录快速找到11组，然后顺着元素编号向下移动，最终稳稳地停在了一个数字下面： “Group11，Element4……Resolution：0.173μm……173nm。” 173纳米！ 这个数字如同一个惊雷，在小小的实验室里轰然炸响！ 常浩南抬起头，目光扫过满脸震撼的栾文杰和激动得脸颊泛红的栗亚波，他的声音平静，却蕴含着足以改写教科书的力量： “632.8nm波长红光下的理论衍射极限分辨率，按最宽松的瑞利判据计算，大约是316nm。按更严格的斯派罗判据或实际工程经验，通常认为在350nm附近。” 他顿了顿，每一个字都掷地有声： “而我们观测到的、最后一个清晰可辨的11组4元素，其对应的分辨率是173nm。” “即使考虑到测试中可能存在的微小误差，这个结果也明确无误地表明——” 常浩南的声音陡然拔高带着宣告般的穿透力： “我们成功突破了传统光学成像系统的阿贝衍射极限！”喜欢学霸的军工科研系统请大家收藏：(www.qibaxs10.cc)学霸的军工科研系统七八小说更新速度全网最快。